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          一、電子特氣系統工程

            什么是特氣

            易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的氣體統稱為特氣。(GB 50646-2011)

            特氣系統工程

            特氣系統是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱。特氣系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。(GB 50646-2011)

            特氣系統組成

            特氣系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管部分(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。




            特氣系統特點

            特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。

            適合場合

            芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業,常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備。



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